椭圆偏振仪测量薄膜折射率及周期厚度解的分析

摘要：

运用Mathematica,通过最优化理论开发迭代程序,计算SiO2、ZrO薄膜的折射率和单周期及多周期厚度,并与其他方法的计算结果进行对比分析,表明此方法计算结果可以达到较高的精度.通过分析椭偏参数和薄膜厚度的关系可知,一定厚度的薄膜材料存在一个最佳入射角,在该角度下测得的薄膜厚度具有最高的精度.

关键词：椭圆偏振、薄膜厚度、最佳入射角

所属期刊栏目：28

分类号：O484.5(固体物理学)

在线出版日期：2011-10-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：42-46