高校微机电系统加工实验室的管理与运行

摘要：

微加工超净实验室是微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)研究的基础条件.超净实验室涉及多种大型微加工设备和相应的纯水、高纯气体、空气净化及空调等辅助系统,其管理显得十分重要.结合重庆大学微机电系统加工实验室,对其现场管理、保障系统运行和设备管理、节能和高效利用、设计和技术管理等进行了简单介绍,同时对MEMS微加工工艺开发与技术管理进行了初步探索.

关键词：微电子机械系统、超净间、管理

所属期刊栏目：27

分类号：G482(学校建筑和设备的管理)

在线出版日期：2011-03-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：16-20,24