扫描电镜工作距离和加速电压与图像清晰度的关系研究

摘要：

为阐明工作距离和电子束加速电压对扫描电镜图像清晰度的影响,实验比较了在不同的工作距离和加速电压条件下,大肠杆菌的扫描电镜图像清晰度和分辨率.并通过理论分析得出:工作距离缩短能加大入射角,导致图像分辨率提高;提高加速电压可增加样品中的二次电子发射,从而提高图像的清晰度,不过加速电压要适当,过低或偏高都会影响图像清晰度.

关键词：扫描电镜、图像清晰度、工作距离、加速电压

所属期刊栏目：27

分类号：TN16;Q-336(真空电子技术)

资助基金：江西省科技基金BKZ006560;南京农业大学生命科学实验中心开放课题基金680810150

在线出版日期：2010-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：48-49,53