核物理电化学刻蚀分析中智能化高压电源的研制

摘要：

提出了一种用于电化学刻蚀(ECE)分析的可编程高压电源实现方案.利用MAX038作为波形发生器,采用P89LPC936 MCU进行控制.电源的输出频率可达2 kHz,电压峰一峰值可达8 000 V.由于系统采用了MCU控制,提高了电源的输出频率和电压的精度,增强了电源的可靠性,并具有工作数据的记录功能.

关键词：智能化、高压电源、电化学刻蚀、MAX038、单片机

所属期刊栏目：26

分类号：TN86;TP273(无线电设备、电信设备)

在线出版日期：2010-01-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：64-67