基于垂直扫描白光干涉法的6JA干涉显微镜的改造

摘要：

介绍了一种基于垂直扫描白光干涉法的6JA干涉显微镜改造的总体方案、系统测量原理、仪器结构,以及对标准样板及圆柱零件的测试结果.该测量系统已对本科生和研究生开出实验并投入实用,其垂直分辨率为2 nm,横向分辨率为0.3 μm,垂直扫描范围为80 μm.

关键词：6JA干涉显微镜、表面形貌测量、扫描白光干涉法

所属期刊栏目：24

分类号：TH744.3(仪器、仪表)

在线出版日期：2007-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：58-60