LEO-1450扫描电镜一种真空故障的排除

摘要：

扫描电子显微镜观察和X射线微区分析是近年来迅速发展起来的一项重要的分析技术.真空是电镜工作的一个最基本的保障,真空系统出现故障,则整个设备便处于瘫痪状态.该文主要描述了真空压力传感器Penning规管污染造成真空系统故障的表现及其解决方法.

关键词：扫描电镜、真空故障、诊断与排除

所属期刊栏目：24

分类号：TN16(真空电子技术)

在线出版日期：2007-04-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：37-38