利用阻抗/材料分析仪测量磁性薄膜的复磁导率

摘要：

该文提出了一种新的高频复磁导率的测试方法.首先确定E4991A射频阻抗/材料分析仪的测量原理为单线圈法,在此基础上推导出了测量有衬底磁性薄膜复磁导率所适用的公式.在实际测试过程中,将衬底放入夹具中作夹具短路补偿,减小了由衬底带来的误差;通过反复验证,弄清了系统提供的阻抗值表示的意义,并据此对磁导率的计算公式进行了修正,最后给出了磁性薄膜复磁导率的测量结果.实验表明,该方法简便易行,所得数据与文献中同类薄膜的测量数据基本符合.

关键词：复磁导率、磁性薄膜、射频、阻抗/材料分析仪

所属期刊栏目：23

分类号：TM936

在线出版日期：2006-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：29-31