分光计的调整对椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率的影响

摘要：

该文用了两个不同的薄膜样品,在两台不同的分光计上,用不同的入射角对薄膜的厚度和折射率进行了测量,并通过比较实验结果,说明了在用椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率的实验中,分光计的调整对实验结果的影响是可以忽略的.

关键词：椭圆偏振法、分光计、薄膜、厚度、折射率

所属期刊栏目：22

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2005-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：40-41,118