S-360扫描电镜及Northern能谱仪的升级改造

摘要：

针对剑桥S-360扫描电镜和Tracor Northem 524 X射线能谱仪在图像采集、处理及元素分析过程中存在的不足,提出改造方案,挖掘设备的潜力,使设备原有的性能得到了充分发挥,达到了当前先进水平,满足了教学科研的需要.

关键词：扫描电镜、X射线能谱仪、图像分析、图谱分析软件、升级及改造

所属期刊栏目：20

分类号：TN16(真空电子技术)

在线出版日期：2004-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：110-112,115