改造真空蒸发镀膜机为蒸发溅射两用镀膜机

摘要：

本文阐述了改造普通真空蒸发镀膜机为蒸发与磁控溅射多用途镀膜机的意义.叙述了两种磁控溅射靶的安装方式、结构与特点.介绍了改造后的多用途镀膜机在本科生教学实验和科学工作中的应用与效果.

关键词：镀膜机、蒸发、磁控溅射、改造

所属期刊栏目：20

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2004-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：106-109