光弹调制差分反射分析系统的建立与应用

摘要：

本文搭建了一套光弹调制差分反射分析系统.这套试验系统不仅可以用于常规方法很难测量或很难精确测量的薄膜的光学性质和介电性质的研究,还可用来分析薄膜或埋藏界面的应力状态和各向异性特征以及任何气体环境下薄膜生长的原位动力学监测,且测量精度比传统测量精度大大提高.已将其成功用于薄膜光学性能和磁光测量中.在系统被成功用于科研的基础上,开发了"用偏振光调制技术测量薄膜光学常数"的学生实验,将这一最新的学术研究成果引用到了学生的实验中,使学生们能利用所学到的基本知识解决科学研究中的学术问题,实现了科研成果向教学内容的转化.

关键词：光弹调制、差分反射、薄膜、光学性质、介电性质

所属期刊栏目：20

分类号：TH741(仪器、仪表)

在线出版日期：2004-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：98-102