超大规模集成电路用超纯水制备系统的设计

摘要：

本文介绍了一套超大规模集成电路(VLSI)用10m3/h超纯水系统的设计要点.经实际运行,性能稳定、操作简单、自动化程度高,有很好的示范作用.

关键词：超大规模集成电路、超纯水、流程、水质

所属期刊栏目：20

分类号：TQ085(一般性问题)

在线出版日期：2004-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：15-19