用扫描探针显微镜测量材料表面电学和磁学特性

摘要：

扫描探针显微镜是用于测量材料表面不同性质的一类仪器.扫描探针显微镜在测量材料表面电学和磁学特性方面的测量技术发展较快.本文简要介绍了电场力显微镜、磁力显微镜的测量原理,着重对新发展的测量技术的原理及应用进行了描述.

关键词：扫描探针显微镜、电场力显微镜、磁力显微镜、测量技术

所属期刊栏目：20

分类号：TN16(真空电子技术)

在线出版日期：2004-02-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：13-17