微位移工作台静、动态特性实验系统

摘要：

采用柔性铰链精密工作台、电致伸缩微位移器驱动、微机控制方案,对精密微动工作台的静、动态特性进行测试,本文阐述了该系统的原理及其测试方法,给出了实验结果,提高了教学实验水平.

关键词：特性测试、微机控制、微位移工作台、柔性铰链

所属期刊栏目：18

分类号：TG806(公差与技术测量及机械量仪)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：22-25