CVI反应器气体流动可视化发烟系统

摘要：

CVI反应器内气体的输运对基体的沉积速度与沉积质量有重要的影响.本文介绍了一种基于TiCl4与H2O反应产生TiO2烟雾而设计的发烟系统,能使模拟CVI反应器内复杂的与不可观察的气体流动现象可视化.该系统结构简单、可操作性强,形成的烟流总量与密度可调且长时间可视、均匀.流场照片表明其发烟效果很好 ,能满足CVI反应器内气体流场的显示研究.

关键词：流动显示、模拟、CVI反应器

所属期刊栏目：17

分类号：O643.2(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：中国科学院资助项目59772031

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：28-30