将红外光弹应力实时测量系统用于实验教学

摘要：

本文介绍一种用红外光弹测量方法,对半导体单晶片及其器件结构中的应力分布进行观察、测量分析,并就其在教学中的应用作一简介.

关键词：教学、红外光弹、半导体、应力

所属期刊栏目：17

分类号：TH744.2+5(仪器、仪表)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：24-25