扩散硅压力式密度测量系统

摘要：

化工过程中的成分测量是非电量测量中的难点,通过对扩散硅压力式传感器的二次开发应用,结合单片机系统对微弱信号进行处理,实现密度的静态测量,并取得了较好的效果,为工业过程动态密度测量提供一种新的方法.

关键词：非电量测量、扩散硅压力传感器、密度、单片机、压力

所属期刊栏目：16

分类号：TQ0(一般性问题)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：16-19