10.3969/j.issn.1007-7324.2023.04.010
宇电推出核心产品AI-8半导体专用串级温控器
近日,厦门宇电自动化仪表有限公司(以下简称:宇电)在第十六届SNEC国际太阳能光伏与智慧能源(上海)大会展出其核心产品AI-8x9系列温控器.
据悉,AI-8半导体设备专用温控器最大的技术突破,解决了半导体设备中的复杂串级控制问题,通过智能自动定标技术让串级仪表的调试工作和普通单回路PID仪表一样简单,遇到复杂控制对象也能轻松应对.该产品填补了国内半导核心设备温控应用领域的空白,在国家科技成果鉴定中被行业资深专家评定为"国际先进".目前AI-8半导体设备专用温控器成功应用在扩散炉、氧化退火炉、等离子多晶硅薄膜积淀炉PECVD等设备,斩获大量客户订单.AI-8半导体设备专用温控器运用宇电全新升级的AI人工智能调节算法,可自动识别不同场景,如改变给定值、纯滞后延迟、额外扰动、开炉门、意外断电等多种现场场景并模拟专家思路调整PID控制器的工作状态,在多种不同应用场合均能实现无超调和无欠调的精确控制.
核心产品、半导体、温控器
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F270.7;F713.50;TN304
2023-08-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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