三氯氢硅氢还原法制多晶硅的自控难点及选型

摘要：

多晶硅项目由于工况特殊、技术不成熟、工程经验不足等原因,在自动控制和现场仪表选型上存在很多问题,装置运行过程中仪表的使用效果和寿命均不尽人意、自动化水平也较低,阐述了该工艺流程中的控制难点及仪表的正确选用,并对还原炉的自动控制提出一些合理的控制方案,从而提高了多晶硅生产的稳定性、减少了副产物、降低了多晶硅生产的能耗,提高了产品质量.

关键词：多晶硅、闭环式三氯氢硅氢还原法、流量配比调节

所属期刊栏目：46

分类号：TP273(自动化技术及设备)

在线出版日期：2011-01-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：16-19