二阶差商PCA算法研究及应用

摘要：

针对工业生产过程各模态方差差异显著的特性,提出二阶差商PCA(SODQPCA)算法,并研究其应用.先找到训练样本的第k个近邻样本,进行一次差分运算.运用同样的方法,找到近邻样本的第k个近邻样本,进行一次差分运算.将两次运算的结果运用二阶差商的方法剔除多模态和方差差异特性,然后利用PCA建立模型,计算SPE和T2检测指标的控制限.将待检测数据运用二阶差商算法预处理后投影到PCA模型上,计算检测指标,通过检测指标是否超出控制限判断样本是否正常.将该方法应用于数值例子和半导体工业实例,仿真结果表明:与传统算法相比,SODQPCA有较低的误报率和漏报率,检测效果最好.

关键词：故障检测、方差差异、PCA、差分算法、二阶差商

所属期刊栏目：35

分类号：TP277;TH165.3(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金

在线出版日期：2021-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：61-68