离焦和球差效应对高分辨率电镜性能参数的影响

摘要：

从离焦效应和球差效应出发,分析了它们对高分辨率电子显微镜分辨率和通带宽度的影响,得出了最佳欠焦量下分辨率与球差系数和电子波长的关系.在最佳欠焦条件下,分辩率与球差系数的-(1/4)次方成正比,与电子波长的-(3/4)次方成正比,通带宽度随欠焦量绝对值的增大而减小.

关键词：高分辨率电子显微镜、离焦效应、球差效应、分辨率、通带宽度

所属期刊栏目：25

分类号：TH132.425

在线出版日期：2004-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：533-535