压缩空气系统设计

摘要：

一个好的压缩空气系统设计对于半导体芯片厂是非常重要的.这篇论文主要是介绍压缩空气系统的设计思路.本文主要讲述一下内容:总体目标、气体要求、扩充策略、维护保养、空气流通、气体品质与压力、系统中的压力损失、系统框架等.

关键词：压缩空气、压力、容量、质量

分类号：TP311.52;TN43;H146

在线出版日期：2011-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：232-233