浅谈集成电路厂房洁净室暖通设计

摘要：

随着集成电路工业迅猛发展,对于洁净室的生产环境提出了更高的要求,本文结合作者所设计工程项目的经验,论述了集成电路生产厂房洁净室的空调系统设计和机械排烟系统设计的几种不同方案形式.

关键词：集成电路、洁净室、空调、排烟

分类号：TU834.53;TU27;TN405

在线出版日期：2013-03-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：181-182