基于微机电系统的微型气相色谱柱研究进展

摘要：

气相色谱柱是气相色谱仪的关键部件,主要用于混合气体组分的分离.与传统气相色谱柱相比,基于微机电系统(MEMS)技术设计制作的微型气相色谱柱具有重量轻、体积小、功耗低、分离快速等优点,便于集成到便携式气相色谱仪中,适应了目前气相色谱仪微型化的发展趋势.该文综述了MEMS微型气相色谱柱的研究进展,首先阐述了MEMS微型气相色谱柱理论基础,随后对MEMS微型气相色谱柱沟道布局及柱内结构、固定相支撑层及固定相制备等方面进行了综述,最后对其发展趋势进行了展望.

关键词：微机电系统、微型气相色谱柱、综述

所属期刊栏目：36

分类号：O658(分析化学)

资助基金：国家自然科学基金项目91323304,60876081,61172151;上海市科委项目14DZ1105102;国家高技术研究发展"863"计划项目2009AA04Z317;国家重点研发计划2018YFA0208504

在线出版日期：2018-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：707-715