微结构的各种测试技术的研究现状和发展趋势

摘要：

微结构的发展状况和微结构对现代社会起着重要作用,而微结构测试技术在微结构开发和应用中有着重要意义.

关键词：微结构测试、发展趋势、电子散斑干涉、MEMS

所属期刊栏目：9

分类号：TH7(仪器、仪表)

在线出版日期：2010-06-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：99-102