Al/SnO2/FTO结构双极型电阻开关的制备及其性质研究

摘要：

通过溶胶凝胶的方法,在FTO衬底上制备得到SnO2薄膜,并对SnO2薄膜的晶体结构以及荧光光谱(PL)进行了研究.XRD结果显示SnO2薄膜为多晶结构,荧光光谱结果表明SnO2薄膜存在氧空位以及氧填隙等缺陷.通过直流磁控溅射在SnO2薄膜上面溅射Al作为顸电极,并对Al/SnO2/FTO结构进行了电阻开关性质研究,测试结果表明器件具有双极型电阻开关性质和良好的阻态保持特性.对器件的电流-电压曲线特征进行了研究,认为SnO2薄膜内氧离子(氧空位)在电场作用下发生迁移,在Al/SnO2界面发生氧化还原反应是引起Al/SnO2/FTO电阻状态改变的原因.

关键词：SnO2薄膜、电阻开关、双极型、溶胶凝胶

在线出版日期：2019-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：33-37