掺铝氧化锌透明导电薄膜生长及光电性质研究

摘要：

采用磁控溅射在载玻片上制备掺铝氧化锌AZO透明导电薄膜,并用扫描电子显微镜观察薄膜的表面形貌,四探针电阻率测试仪测量样品的方块电阻和电阻率,分光光度计测量薄膜透射率.结果表明当功率、温度、氢气掺杂比为200 W、300℃、8％时,制备的AZO薄膜具有最小的方块电阻和电阻率,且在可见光区域内透射率均超过80％.

关键词：AZO薄膜、磁控溅射、光电性质、透射率、电阻率

所属期刊栏目：35

分类号：O031

资助基金：国家自然科学基金项目11004071;物理学师范特色专业建设点800551

在线出版日期：2014-03-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：11-13