国产MOCVD研制成功推动LED灯价格降低

摘要：

中科院LED照明研究所研制成功LED灯芯片制造的关键设备MOCVD，使我国LED设备制造进入一个新的历史阶段。MOCVD即金属有机化合物化学气相沉积，是生产LED灯芯片的关键设备，技术难度极大，目前世界上主要由两家公司垄断，包括德国Aixtron公司与美国的Veeco（Veeco兼并Emcore公司MOCVD业务）两家。

关键词：MOCVD、LED灯、金属有机化合物化学气相沉积、价格、国产、设备制造、芯片制造、LED照明

分类号：TN304.23(半导体技术)

在线出版日期：2012-07-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：10-10