背照式图像传感器

摘要：

背照式（BSI）图像传感器是指采用从背面对传感器进行照明，即采用背面照度技术（BSI）的传感器。采用BSI构建像素，光线无需穿过金属互连层。然而，这仍然对光路径带来一些限制，幸运的是，促使FSI技术不断改进的许多知识和技术进步可以直接应用于BSI技术，从而为提高BSI性能打下了坚实的基础。

关键词：图像传感器、技术进步、BSI、金属互连、FSI、背面

分类号：TN406(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2012-05-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：58-58