The Development and Application of Semiconductor Photoelectric Detector

摘要：

@@ 引言
半导体光电探测器由于体积小,重量轻,响应速度快,灵敏度高,易于与其它半导体器件集成,是光源的最理想探测器,可广泛用于光通信、信号处理、传感系统和测量系统.最近几年,由于超高速光通信、信号处理、测量和传感系统的需要,需要超高速高灵敏度的半导体光电探测器.为此,发展了谐振腔增强型(RCE)光电探测器、金属半导体-金属行波光电探测器,以及分离吸收梯度电荷和信增(SAGCM)雪崩光电探测器(APD)等.

机标关键词：雪崩光电探测器、金属半导体、信号处理、传感系统、谐振腔增强型、超高速光通信、半导体器件、响应速度、灵敏度高、高灵敏度、测量系统、重量轻、体积小、行波、吸收、梯度、理想、集成、光源、电荷

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2005-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：41-43