MEMS将成为21世纪新技术增长点

摘要：

@@ 微电子技术的巨大成功在许多领域引发了一场微型化革命,以加工微米/纳米结构和系统为目的的微米/纳米技术(Micro/Nano Technology)在此背景下应运而生.一方面人们利用物理化学方法将原子和分子组装起来,形成具有一定功能的微米/纳米结构;另一方面人们利用精细加工手段加工出微米/纳米级结构.前者导致了纳米生物学、纳米化学等边缘学科的产生,后者则在小型机械制造领域开始了一场新的革命,导致了微机电系统(MEMS)的诞生.

机标关键词：新技术、微米、纳米结构、物理化学方法、加工手段、微机电系统、微电子技术、纳米生物学、纳米级结构、制造领域、纳米技术、纳米化学、革命、分子组装、边缘学科、微型化、多领域、原子、小型、机械

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2005-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：52-53