微系统与纳系统技术(上)

摘要：

@@ 一概述
21世纪的微米纳米技术将对材料、器件和系统的发展带来根本性的突破,这包括它们的认识、设计、功能、制造和使用等多个方面.开发高性能的微系统(Micro Systems)和纳系统(Nano Systems)是微米纳米技术的最终目标之一,它研究微米到纳米尺度的材料、器件、系统机理、制造、测控、集成或组装技术.

机标关键词：微系统、微米纳米技术、组装技术、制造、器件、纳米尺度、材料、高性能、设计、目标、开发、集成、机理、功能、测控

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2005-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：26-29