MOEMS成就未来光通信领域的大市场

摘要：

@@ 近年来,由于微系统和器件微型化领域的产业需求,导致微光学和微电子学相结合,实现微光学元件与微电子器件集成在同一基片上,形成所谓的微光电子机械系统(MOEMS)技术.MOEMS技术具有微型化、智能化、重量轻、成本低、高可靠、长寿命、批量生产、军民两用等突出优点,它将导致光电子系统的革命化.在未来几年内,MOEMS技术可望发展成为几十亿美元的产业.

机标关键词：成就、光通信领域、微光电子机械系统、微型化、微光学元件、技术、微电子器件、光电子系统、微电子学、批量生产、军民两用、产业、重量轻、智能化、微系统、革命化、高可靠、长寿命、美元、集成

分类号：F62(电信)

在线出版日期：2005-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：47-48