利用MEMS技术制作MMIC的三维电容电感和滤波器

摘要：

@@ 随着信息时代的发展,对于无线通信设备中的一些外接的分立元件的微型化、低功耗及可携带性提出了更高的要求.现在通常采用单片微波集成电路(MMIC)技术来制作微波电路器件.

机标关键词：技术制作、三维电容、电感、单片微波集成电路、无线通信设备、信息时代、分立元件、电路器件、微型化、低功耗

分类号：TN92

在线出版日期：2005-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：58-60