磁控溅射CrAlTiN镀层的微结构研究

摘要：

使用XPS、XRD和HRTEM对磁控溅射CrAlTiN镀层的相组成、化学态和显微结构进行了分析检测.检测结果发现:CrAlTiN镀层为柱状晶结构,由调制周期为4.9nm的纳米复合层组成;其相组成以面心立方结构CrN为主体,含有少量的Cr、Al金属单质和M2O3(Al2O3,Cr2O3和Ti2O3)金属氧化物,Al、Ti金属原子取代CrN晶格中的Cr原子导致CrN晶格畸变,晶面间距变大.

关键词：磁控溅射、微结构、CrAlTiN镀层

分类号：TG174.2(金属学与热处理)

在线出版日期：2010-12-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：19-22