应用于气体传感器的多波导层Love波器件的温度特性研究

摘要：

为获得趋于零温度系数的多波导层Love波器件结构参数,对Love波器件的温度稳定性进行了研究.首先构建了这种多波导层条件下Love波传播特性的理论模型,即根据层状结构声波传播方程和边界条件推导出Love波的色散方程,再结合色散方程和Tomar的方法,成功提取出趋于零温度系数的Love器件结构参数,并通过实验验证了理论计算结果,实验测试得到的基于ST-90°X石英且采用SU-8与SiO2双波导层的Love波延迟线器件的频率温度系数(tcf)仅为2.16 ppm/℃.优化后的器件具有很好的实际意义.

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资助基金：国家自然基金资助项目11074268

在线出版日期：2013-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：181-187