基于云计算的半导体制造企业的制造执行系统重构

摘要：

当前半导体制造工厂的制造执行系统(MES)存在着许多问题.给出了半导体制造工厂制造执行系统(MES)重构的约束条件和相关要求,提出了一种基于云计算的MES重构框架及其技术路线;重构后的MES能够适应半导体制造企业当前的生产经营和不断发展的需求.

关键词：系统重构、制造执行系统、云计算、集成电路制造

所属期刊栏目：18

分类号：F426.63;TP273.05(中国工业经济)

资助基金：上海市重点科技攻关专项项目资助11dz1504400

在线出版日期：2016-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：306-310