极紫外Mg/SiC双功能多层膜反射镜的设计

摘要：

根据极紫外成像器观测地球周围等离子层的要求,设计了极紫外Mg/SiC双功能多层膜反射镜,并分析了粗糙度、膜厚精度和光学常数变化对反射率的影响.结果表明:5°入射的双功能多层膜反射镜在30.4 nm和58.4 nm处的反射率分别大于41%、小于0.20%.

关键词：极紫外线、双功能多层膜反射镜、遗传算法、反射率

所属期刊栏目：13

分类号：O484.41(固体物理学)

资助基金：上海市高校优秀青年教师科研专项基金项目sdj09013

在线出版日期：2011-01-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：228-231