一种新型水平式MEMS隧穿磁强计仿真

摘要：

针对微机电系统(MEMS)水平式隧穿磁强计,驱动电压过大,不符合微小型卫星上电源电压的使用条件.提出了单折绕梁结构,通过改变梁结构的方法来降低驱动电压,进行了有限元静力及模态仿真分析,所得的位移距离,各阶频率值符合要求,为满足在微小型卫星上的电压要求提供了理论上的可能性.

关键词：隧穿磁强计、微机电系统、单折绕梁结构、有限元仿真

所属期刊栏目：11

分类号：TH73(仪器、仪表)

资助基金：上海市教委重点课题062297

在线出版日期：2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：95-98