光干涉理论在制膜工程技术中的应用

摘要：

介绍了利用光干涉法动态监控膜厚的原理,并介绍了对生产薄膜设备和镀膜设备在工作时对膜厚动态检测和控制.

关键词：光学薄膜、光的干涉、光程差、镀膜

所属期刊栏目：9

分类号：O439;TB43(光学)

在线出版日期：2006-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：70-71,75