溶胶—凝胶法制备掺铝氧化锌薄膜及微观形貌研究

摘要：

利用溶胶-凝胶旋涂技术在玻璃衬底上制备了不同铝掺杂量ZnO薄膜,再利用氮气气氛在500 ℃条件下对样品进行热处理.利用X射线衍射仪 (XRD)、扫描探针显微镜(SPM)和紫外一可见光谱仪对薄膜结构形貌及光学性能进行分析表征.结果表明,所制薄膜具有六方纤锌矿结构,且随着掺杂量的变化,薄膜择优取向发生转变;薄膜可见光透过率与掺杂量呈负相关关系,掺杂量越高,可见光透过率越低;SPM结果显示在2.at%铝掺杂量下的样品表面出现柱状结构形貌,且晶粒粒度最小,表面粗糙度最低,表明薄膜表面形貌形成过程与铝掺杂量密切相关.

关键词：溶胶-凝胶法、氧化锌、透过率

所属期刊栏目：31

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：山东省青年基金2016ZRB01ANP;国家级大学生创新创业训练计划项目201510431021;河南省自然科学基金0162300410045

在线出版日期：2017-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：8-11