等刚度高灵敏探头弹性机构设计

摘要：

针对微型和小型元件的测量问题,设计了一种微纳米三坐标测量机的接触式探头高灵敏弹性机构.弹性机构由铍铜合金簧片、铝合金悬浮片、钢混合玻璃纤维探针以及红宝石测球构成.当测球与被测物体接触时,簧片产生弹性形变,根据弹性理论对弹性机构进行分析并对尺寸进行优化设计,得出弹性机构的刚度可以达到0.110 mN/μm以下.最后通过ANSYS软件对弹性机构进行仿真验证,分析结果的正确性并得出结论.

关键词：弹性机构、微纳米三坐标测量机、刚度

所属期刊栏目：31

分类号：TH122

资助基金：安徽省高校自然科学研究重点项目KJ2015A410;安徽电气工程职业技术学院重点科研项目2015zdxm06,2015zdxm05

在线出版日期：2017-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：55-58