Al掺杂量对ZnO薄膜微观结构及光学性能的影响

摘要：

采用无水乙醇新溶剂体系,利用旋涂技术在超薄玻璃基片表面制备Al:ZnO薄膜层,并研究铝掺杂含量对膜微观结构及光学性能的影响.通过X射线衍射技术(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和紫外-可见分光度计对膜层的物相、表面与断面形貌及可见光透过率进行分析.结果表明:无水乙醇溶剂条件下所制的膜层具有典型的六角纤锌矿结构,随着掺杂量增加,膜层择优取向度先增加后减小,当铝掺杂量为3％时,择优取向度最高.且在3％掺杂条件下,膜层样品表面平坦,界面结合牢,结构致密,孔隙率低.紫外-可见光透射光谱研究表明:当掺杂量为3％时,薄膜结晶质量与择优取向度最好,且具有最高的可见光透射率.

关键词：功能薄膜、旋涂法、掺杂浓度、微观结构

所属期刊栏目：30

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：山东省青年基金ZR2016EMQ09;国家级大学生创新创业训练计划项目201510431021

在线出版日期：2017-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：21-24