晶圆传输平台轨迹规划与控制算法研究

摘要：

为保证晶圆的平稳快速传输,基于末端位姿调整算法搭建了晶圆传输实验平台,并根据晶圆传输过程中的受力情况得到了末端执行器角度与最大加速度之间的关系,通过基于位姿调整的S加速算法得到了晶圆机器人运行轨迹.针对晶圆传输平台非线性、强耦合的特点,建立了晶圆传输平台动力学模型,提出了基于干扰观测器的线性化反馈方法对控制系统进行线性化解耦,通过积分滑模控制来保证控制系统动态性能并提高鲁棒性.最后在Simulink中搭建控制系统仿真模型,验证了算法的有效性.

关键词：晶圆传输;位姿调整;干扰观测器;积分滑模控制;线性化反馈

所属期刊栏目：59

分类号：TH6(专用机械与设备)

在线出版日期：2021-12-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：84-88