晶圆传输机器人末端执行器的拓扑优化

摘要：

为了实现晶圆片快速稳定传输,通过拓扑优化设计了新的机器人末端执行器结构.首先,利用三维UG软件对晶圆传输机器人末端执行器进行实体建模;采用ANSYS对末端执行器进行静力学仿真,并对仿真结果进行分析,对其进行拓扑优化,计算出新的末端执行器结构,建立新的模型;最后,用ANSYS对新的末端执行器分别进行静力学仿真和动力学模态仿真,验证了此机械结构具有合理性.结果表明,新结构的末端执行器更省材料,形变、应力变化不大,固有频率符合要求,更有利于晶圆快速、高效、平稳地传输.

关键词：晶圆传输机器人、末端执行器、UG软件、ANSYS仿真、拓扑优化

所属期刊栏目：59

分类号：TP242.2(自动化技术及设备)

在线出版日期：2021-05-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：84-88