硅片传输机器人手臂的拓扑优化

摘要：

对硅片传输机器人手臂进行实体建模,用OptiStruct对手臂进行模态分析,然后对其进行拓扑优化,并计算出新手臂的结构,建立新的模型,最后对新的手臂进行模态分析.结果 表明,新结构的手臂更省材料,最小固有频率变化不大,实现了减材的目的,更有利于晶圆快速、高效、平稳地传输.

关键词：HyperMesh、OptiStruct、固有频率、模态分析、拓扑优化

所属期刊栏目：57

分类号：TH242(起重机械与运输机械)

在线出版日期：2019-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：74-77