溅射靶材的制备及应用研究

摘要：

随着电子及信息产业迅猛发展,全球溅射靶材的需求量越来越多.文章介绍了靶材的分类、制备方法和应用情况,并指出了目前溅射靶材急需解决的几个重大问题.

关键词：溅射、靶材制备、集成电路、平面显示器、光学镀膜

所属期刊栏目：18

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

在线出版日期：2005-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：22-24