多对棒多晶硅还原炉径向热辐射的角系数

摘要：

研究多晶硅还原炉的辐射散热对降低还原过程电耗的重要意义.对60对和84对棒多晶硅还原炉中硅棒径向热辐射的角系数进行了计算,并对不同硅棒直径的径向热辐射功率、径向热辐射单位能耗进行了分析.结果 表明还原炉径向热辐射角系数和径向热辐射单位能耗随着硅棒数量和直径增加而减小,相对40对棒还原炉,节能效果明显.

关键词：多晶硅、还原炉、角系数

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在线出版日期：2020-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：40-42