多晶硅生产中Si2Cl6生成的热力学分析

摘要：

利用HSC Chemistry软件的平衡组成计算模块来分析冷氢化、还原系统Si2Cl6平衡组成,为残液处理新技术提供科学依据.HSC Chemistry 9.0软件计算结果表明:(1)一定进料条件下冷氢化工况Si2Cl6平衡浓度为0.119wt％,还原工况Si2Cl6平衡浓度为0.038wt％.(2)增加冷氢化进料中Si2Cl6的含量,对冷氢化系统的平衡影响较小.(3)固定冷氢化和还原进料量,残液中Si2Cl6含量84.03％来自冷氢化工序,15.97％来自还原工序.

关键词：多晶硅、Si2Cl6、冷氢化、还原、热力学

所属期刊栏目：23

在线出版日期：2020-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：37-39,46