铅掺杂对钛酸锶钡铁电薄膜性能的影响

摘要：

采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备了未掺杂和掺铅的钛酸锶钡(BST)薄膜,研究了铅的加入对BST薄膜的结构和电学性能的影响.实验结果表明:随着铅的加入量的增加,BST薄膜的晶粒尺寸增大;在同一频率下,介电常数呈增大趋势.在测试频率低于50kHz时,介电常数和介电损耗急剧降低.

关键词：掺杂、介电常数、介电损耗

所属期刊栏目：25

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2002CB613302;西华大学校科研和教改项目R0620109

在线出版日期：2006-12-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

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